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钛钼锆钛丝蒸发参数吸气性能的测定

* 来源: * 作者: * 发表时间: 2019/09/16 1:37:59 * 浏览: 245
吸气剂对各种气体的附着系数和吸附能力是评价吸气剂性能的主要参数。附着系数表示每单位吸入面积可产生的抽速。吸附容量表示在给定分压下吸气剂膜的有效泵送时间。因此,这两个参数在确定系统中某一时间内每种气体的分压方面起着重要作用。粘附系数是指气体分子(或原子)与吸气表面碰撞的概率被吸附。吸附能力反映了每单位质量钛可吸附的气体量。它们是多种变量的函数,例如气体类型,压力和膜温度。从国外测量的结果来看,即使材料,气体和膜表面湿度相同,测量值也会发生很大变化。这表明测量结果也高度依赖于膜沉积条件,基板性质,表面条件等。根据以往工作的结果,Harra给出了他认为合理的附着系数和吸附能力的数据。哈格沃德等人。还严格评估了测量金属薄膜吸附概率的设备。但是,这些条件在一般工程中很难实现。粘附系数测量装置,其建立以最小化测量误差并且接近工程应用,也可以同时测量吸附容量和气体输出组分。